NEG

NEG玻璃（Non-Evaporable Getter，非蒸散型吸气剂玻璃）是一种特殊的功能性玻璃材料，具有优异的真空维持和气体吸附性能，广泛应用于高真空或超高真空环境中的密封器件，如MEMS（微机电系统）、半导体封装、X射线管、粒子加速器等。

18621358356

产品介绍

可加工成晶圆形式：

可制成圆片（如4英寸、6英寸、8英寸等），便于光刻、刻蚀等微纳加工。

表面可金属化（如镀Ti、Ni、Au等），用于电学互联或封装密封。

NEG玻璃的激活与使用:

激活条件：通常在真空或惰性环境中加热至400~500℃，持续数分钟至数小时，以去除表面氧化层并恢复活性。

再生能力：部分NEG材料可在多次加热激活后重复使用，但吸附容量会逐渐降低。

NEG玻璃晶圆结合了真空技术、半导体工艺和材料科学的优势，是高端真空封装领域的核心材料之一。