NEG

NEG玻璃（Non-Evaporable Getter，非蒸散型吸气剂玻璃）是一种特殊的功能性玻璃材料，具有优异的真空维持和气体吸附性能，广泛应用于高真空或超高真空环境中的密封器件，如MEMS（微机电系统）、半导体封装、X射线管、粒子加速器等。

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产品介绍

NEG玻璃晶圆的特点

超高真空维持能力：

NEG玻璃在激活（加热）后能高效吸附H₂、CO、N₂、O₂等气体分子，维持腔体内的超高真空环境（可达10⁻⁹ Pa级别）。

相比传统蒸散型吸气剂（如钡吸气剂），NEG玻璃无需蒸散过程，避免污染，更适合精密器件。

长期稳定性：

一次激活后，可在常温下长期保持吸气能力，无需持续加热。

适用于长寿命设备，如航天级传感器、高能物理实验装置等。

良好的机械与热性能：

可与硅晶圆（Si Wafer）键合，兼容半导体工艺（如阳极键合、玻璃浆料烧结等）。

耐高温（通常激活温度400~500℃），热膨胀系数可调，匹配不同衬底材料。