从技术内核到应用场景的创新与实践
面溅射一层约5μm厚的铜层
TGV集成天线
首先，通过激光诱导蚀刻制备波导槽阵列天线玻璃基板，并在玻璃上诱导连续的变性区域，然后使用稀盐酸对变性玻璃进行蚀刻，玻璃将以碎片形式脱落，形成目标通孔结构。
其次，利用物理气相沉积在每一层波导槽阵列天线玻璃基板上溅射一层铜层，并经过氧等离子清洗彻底去除表面的有机物和其他颗粒，并在晶圆表面产生一定的粗糙度，作为
种子层为各层提供良好的附着条件。清洁后的晶圆在烘箱中以150°C加热60分钟，完全去除水分。然后在磁控溅射设备中，在晶圆表面溅射一层约5μm厚的铜层。
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