

规格:6寸、8寸、12寸
材料:石英、肖特、康宁
材料
ANT-03、ANT-04、ANT871E、ANT870等高纯度石英材料;肖特D263以及BF33;康宁EXG等(具体材料规格详见产品手册)
产品规格参数:
6寸、8寸、12寸玻璃晶圆以及方片(方片最大尺寸515*510mm)
技术能力:
12寸厚度最薄0.2±0.005mm TTV<0.7um Ra<0.5nm
交付能力:
12寸厚度最薄0.2±0.005mm ,TTV<0.7um ,Ra<0.5nm
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