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多线切割
发布时间:2025-07-16 11:21浏览次数:

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       多线切割(Multi-Wire Sawing)是一种高精度切割技术,主要用于脆性材料(如玻璃、硅、蓝宝石等)的薄片加工。该技术通过高速运动的金属线(镀金刚石线或游离磨料线)对玻璃晶圆进行切割,可同时完成多片切割,具有高效率、高精度、低损耗等特点。

技术特点
高精度:切割厚度可控制在±5μm以内,适用于超薄玻璃晶圆(如0.1mm以下)。
高效率:一次可切割数百片,适合大批量生产。
低材料损耗:切口窄(线径通常0.1~0.2mm),材料利用率高。
表面质量好:切割后表面粗糙度(Ra)可优化至纳米级,减少后续抛光需求。



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