千级洁净室
发布时间：2025-07-16 11:18浏览次数：
千级洁净室（Class 1,000，ISO 6级）是指每立方英尺空气中≥0.5μm的颗粒数不超过1,000个，适用于对洁净度要求较高的玻璃晶圆（Glass Wafer）
制造和加工环境。玻璃晶圆广泛应用于半导体、MEMS（微机电系统）、光电子和显示面板等领域，其生产过程中对粉尘、温湿度和静电控制极为严格
，千级洁净室可有效保障产品质量。
| 项目 | 标准要求 |
|---|---|
| 洁净度 | ≤1,000颗/ft³（≥0.5μm颗粒） |
| 温度 | 22±2℃（根据工艺调整） |
| 湿度 | 45±5% RH（防静电、防结露） |
| 气压 | 正压设计（防止外部污染进入） |
| 气流组织 | 垂直/水平层流，风速0.3~0.5m/s |
